В производстве полупроводникового оборудованиямикро-элементы, такие как охлаждающие отверстия, вакуумные каналы или микро-каналы для жидкости.не являются обязательными-они имеют-критическое значение. Эти крошечные структуры требуютчрезвычайная точность, чистые края и последовательность, часто менее 100 микрон в диаметре.
Почему важна точность микро-отверстий
Микроканалы необходимы в таких частях, как:
Холодные пластины и радиаторы
Оптические сборки и лазерные головки
Вакуумные порты держателя пластин
Высокочастотные-частотные компоненты
Даже малейшее отклонение в диаметре, выравнивании или качестве поверхности может нарушить отвод тепла, вакуумную герметизацию или гидродинамику,-в конечном итоге поставив под угрозу производительность системы.
Задача обработки с ЧПУ
Обработка микро-отверстий сопряжена с уникальными трудностями:
Хрупкость инструментапри высокой-скоростной резке
Рискобразование заусенцев или микро-трещин
Проблемы с эвакуацией стружкиприводящие к засорению
Термическое искажениево время расширенных операций
Например, при обработкемикроканалы-отвода тепла в полупроводниковой холодной пластине, заусенцы или отклонения формы всего на несколько микрон могут снизить теплопроводность и повлиять на стабильность системы.
Как мы с этим справляемся
ВБИШЕН Точность, мы объединяемвысокоскоростное-управление шпинделем, инструмент микро-диаметра, иадаптивные стратегии CAMчтобы обеспечить:
Округлость и конусность отверстия находятся в пределах жестких допусков.
Отделка без заусенцев-без вторичных процессов
Многоосевое-управление глубокими или угловыми микрообъектами
Дополнительная-линейная воздушная или ультразвуковая промывка для очистки от стружки
Доказанные результаты
Для недавнего клиента полупроводникового оборудования мы поставилиалюминиевые пластины радиаторас более чем 500 микроотверстиями, каждое из которых диаметром менее или равно 0,2 мм, с допуском ±5 мкм и Ra менее или равно 0,2 мкм. Детали прошли вакуумную-герметизацию и проверку-теплопроводности без доработок.
Давайте поговорим о ваших микродеталях
Точность на микроуровне отличает высокопроизводительные-системы от нестабильных. Если ваши детали требуютбезупречные микро-отверстия или прецизионные каналы, мы готовы помочь-от прототипирования до серийного производства.
