Анализ объекта обработки
Материал: кварцевое стекло оптического качества.
Особенности обработки: многогранное-контурное шлифование (включая 3 асимметричные грани)
Ключевые параметры: 16×16×10 мм (погрешность ±0,002 мм)
Эта кварцевая призма размером всего с ноготь является основным световым-направляющим элементом оптической системы бытовой-машины для литографии высокого класса. Его 8 сложных изогнутых поверхностей должны обеспечить коэффициент пропускания 99,6 % и точность преломления на нанометровом- уровне, а шероховатость поверхности напрямую влияет на разрешение экспозиции литографической машины.
Болевые точки отрасли и технические трудности
Компания, занимающаяся оптическими технологиями, столкнулась с узким местом в обработке кварцевых призм, продвигая локализацию литографических машин:
Традиционные дефекты шлифования: Шероховатость после ручной полировки по-прежнему достигает Sa 120 нм, что приводит к потере рассеяния света на 15%.
Зависимость оборудования от импорта: Стоимость одного японского сверхточного-шлифовального станка превышает 20 миллионов юаней, а срок поставки составляет до 18 месяцев.
«Кризис доходности»: Только 32 из первой партии из 500 пробных производств соответствовали стандартам, что серьезно замедлило ход проекта.
Дилемма «не могу позволить себе импортное оборудование, а отечественные процессы неэффективны» напрямую блокировала процесс разработки независимой литографической машины.
БИШЕНрешение решения
В ответ на высочайшие требования к точности оптических компонентов техническая команда BISHEN разработала инновационные исследования и разработки:
1. Ультразвуковая вертикальная пяти-система обработки рычагов
Динамическая компенсация уровня 2. 0.1мкм-, точное управление станками с 18-осевой навеской
3. Соответствие асимметричной поверхности. Интеллектуальное программирование CAD/CAM.
4. Технология высокочастотного-ультразвукового шлифования
5. 40Ультразвуковая вибрация кГц снижает напряжение резания на 52 % и позволяет избежать микротрещин в кварце
6. Срок службы алмазного микро-шлифовального круга увеличивается в 3 раза.
Фактический измеренный скачок производительности
В массовом производстве определенного типа призм для отечественных литографических машин были достигнуты три крупных прорыва:
1. Качество поверхности: Шероховатость Sa.<70nm (better than ASML supplier standard)
2. Эффективность обработки: рабочее время отдельных-штук сокращается с 14 часов до 3,5 часов.
3. Контроль затрат: инвестиции в оборудование составляют лишь 1/5 от импортного решения.
Выход первой партии из 3000 изделий подскочил до 98,7%, что помогло клиентам завершить сборку прототипов на 6 месяцев раньше запланированного срока.
оБИШЕН
БИШЕНКомпания Precision Technology (основана в 2017 году) стремится преодолеть «узкие места» технологий в области высокотехнологичного-производства. Компания построила цифровую фабрику площадью 7500 квадратных метров в Дунгуане, оснащенную импортным оборудованием, таким как обрабатывающие центры с пяти-осевым рычагом и сверхточные оптические шлифовальные станки. Применяя инновационные технологии, такие как ультразвуковая обработка и криогенная резка, в полупроводниковом оборудовании, оптоэлектронных приборах и других областях, компания предоставила ключевые решения по обработке деталей для более чем 20 отечественных сетевых компаний, производящих литографические машины, и поставила более 500 000 прецизионных оптических компонентов.
