Один из наших клиентов-производителей полупроводников-производитель оригинального оборудования из ЕС-, специализирующийся на EUV-литографии-, обратился к нам с задачей: изготовить устройства высокой-плотностимикроканальная охлаждающая пластинаизготовлен из алюминия 6061-T6. Компонент, необходимый более1200 микро-отверстий, каждыйØ 0,18 мм, ссоотношение глубины-к-диаметру 10:1, иточность позиционирования менее ±5 мкмпо всей поверхности детали.
Ключевые проблемы включали:
Поломка инструментаиз-за экстремальных соотношений сторон
Поддержаниепрямолинейность отверстияна большой глубине бурения
Обеспечениеэвакуация стружкибез деформации микро-отверстий
Предотвращениетепловое искажениепри непрерывном бурении
Для решения этих проблем мы использовали:
Специализированный инструмент для микро-сверлс внутренними каналами для охлаждающей жидкости
Многоэтапный-этапстратегии бурения клевас контролем задержки и втягивания
Ультразвуковая-промывка с помощьюдля обеспечения зазора стружки
В-процессетермостабилизациямежду проходами для контроля расширения
После нескольких итераций и моделирования мы реализовалиДвухпроходной процесс сверления и развертыванияэто позволило добиться однородной геометрии отверстий и отсутствия заусенцев на внутренних поверхностях-. Проверка после-механической обработки с использованием500-кратный цифровой микроскопиКИМ с зондовым сканированиемподтвержденный:
Все дыры внутри±3 μmдиапазон допуска
Шероховатость поверхности нижеРа 0,2 мкм
Отклонение расстояния между отверстиями-к-отверстиям в пределах±4 μmпо матрице размером 150 × 150 мм
Компонент прошел испытания на герметичность гелием, испытания на эффективность теплопередачи и без доработок был принят в опытную сборку заказчика.
