Случай обработки: алюминиевый сплав 6061, глубина распылительной пластины-соотношение диаметров, обработка микро-отверстий
Производителю оборудования для производства микросхем необходимо наладить массовое-производство напылительных пластин из алюминиевого сплава для систем охлаждения при производстве микросхем. Заготовка представляет собой алюминиевую пластину диаметром 300-600 мм, необходимо обработать 5 000–20 000 сквозных отверстий с диаметром отверстия D0,7 ± 0,015 мм, соотношением глубины и диаметра 28,6: 1 и требованием к шероховатости стенки отверстия Ra.<0.5μm. This requirement involves the dual challenges of high-precision hole wall finish processing and batch micro-hole processing stability.
Трудности традиционной обработки.
Бурение с большой глубиной-диаметром склонно к отклонению: диаметр отверстия составляет всего 0,7 мм, а глубина — 20 мм, а обычные сверла склонны к поломке или смещению;
Трудно обеспечить соответствие стандарту шероховатости стенок отверстий.: the sticking characteristics of aluminum alloy cause scratches and burrs on the hole wall, and the measured roughness Ra>0.6μm;
Эффективность и последовательность обработки противоречивы: инструмент быстро изнашивается во время пакетной обработки, допуск легко превышается, и станок часто останавливается для смены инструмента.
BISHEN Solutions: технология ультразвуковой прецизионной гравировки и фрезерования совершает прорыв
В ответ на спрос производителей чипов на прецизионное сверление распылительных пластин из алюминиевых сплавов, BISHEN применяет решение для прецизионной ультразвуковой гравировки и фрезерования. К основным технологическим инновациям относятся:
Высокочастотная-система ультразвуковой вибрации
Инструмент вибрирует в осевом направлении с частотой 20 кГц, что снижает сопротивление резанию алюминиевого сплава на 45% и позволяет избежать царапин на стенке отверстия, вызванных прилипанием;
В сочетании с технологией обработки микро-отверстий с соотношением глубины-к-диаметру глубокие отверстия 28,6:1 формируются за один проход с отклонением<0.01mm.
Инструмент нано-современного уровня
При использовании сверл из вольфрамовой стали со сверхтвердым покрытием точность режущей кромки составляет ± 1 мкм, что соответствует строгому допуску апертуры D0,7 мм;
Конструкция внутреннего канала охлаждения в сочетании с микро-смазкой (MQL) позволяет уменьшить накопление тепла при резании и продлить срок службы инструмента в 3 раза.
Интеллектуальная оптимизация параметров обработки
Динамически регулируйте скорость и подачу в зависимости от апертуры и глубины, чтобы обеспечить стабильность непрерывной обработки более 5000 отверстий;
Система мониторинга-в режиме реального времени предупреждает об износе инструмента, чтобы избежать риска пакетной обработки, выходящей за--допуск.
Эффект обработки: от Ra 0,6 мкм до Ra 0,342 мкм.
После применения раствора БИШЕН при обработке микро-отверстий распылительной пластины достигнуто:
Постоянство диафрагмы: 100% соответствует допуску D0,7±0,015 мм, CPK больше или равно 1,67;
Обновление поверхности: Средняя шероховатость стенки отверстия составляет Ra 0,342 мкм, что на 32% лучше требований заказчика;
Повышение эффективности: Ежедневная производственная мощность одной машины достигает 8000 отверстий, что на 40% быстрее, чем при традиционном решении.
Это достижение значительно снижает частоту отказов системы охлаждения чипов и снижает стоимость пост-полировки, становясь эталоном для обработки микро-отверстий при производстве чипов.
