Практический пример: Прорыв в обработке подложек из кварцевого стекла
Объект обработки: подложка из кварцевого стекла для фотолитографии.
Технические характеристики:
Материал: Кварцевое стекло высокой чистоты-99,99 %.
Особенности обработки: двусторонняя-фаска C0.2 + вертикальная боковая стенка
Требования к поверхности: Ra < 150 нм (зеркальный уровень)
Размеры: 145×145×5,5 мм±0,01 мм
Анализ болевых точек отрасли в сфере переработки
Кварцевые детали для фотолитографии, как основные расходные материалы оборудования для производства полупроводников, должны одновременно соответствовать трем строгим стандартам: коэффициент пропускания материала > 99,6%, допуск на размер ± 10 мкм и шероховатость боковой стенки Ra < 150 нм. Традиционный метод обработки использует процесс шлифования шлифовальным кругом, который имеет две основные отраслевые проблемы:
Узкое место в эффективности: обработка одной-детали занимает до 120 минут.
Дефекты поверхности: residual grinding wheel pattern leads to Ra value>560 нм
Потеря инструмента: срок службы обычного инструмента составляет менее 50 штук.
БИШЕНрешения, технологии, инновации
Учитывая твердые и хрупкие характеристики кварцевых материалов, композитобрабатывающее решениепринято:
• Ультразвуковая прецизионная система гравировки и фрезерования 20 кГц
• Фреза со встроенным микро-лезвием PCD (кромка R0,05 мм).
• Процесс осевой послойной резки (2 мкм на слой)
Сравнение измеренных преимуществ обработки
Благодаря проверке и сравнению процессов ключевые показатели были значительно улучшены:
Значение промышленного применения
Это решение успешно решило проблему обработки «узких мест» в процессе локализации деталей литографических машин, увеличив мощность производства кварцевых подложек с 10 штук в день до 50 штук, а степень квалификации обработки с 63% до 98,5%. Согласно обнаружению лазерного интерферометра Zeiss, значение PV точности обработки поверхности составляет<λ 10="" (λ="632.8nm)," which="" meets="" the="" qualified="" assembly="" standards="" of="" optical="">
Бишен Прецизионспециализируется на прецизионной обработке деталей аппаратного обеспечения, располагает стандартизированными мастерскими площадью 7500 квадратных метров, а ее услуги охватывают аэрокосмическую, медицинскую технику, промышленных роботов и другие области. Благодаря способности обрабатывать сложные детали конструкций и сертификации по системе ISO компания предоставляет клиентам комплексные-технологические решения, от проектирования и разработки до массового производства.
